哪些因素影響了激光干涉儀的測量精度
點擊次數(shù)：1922 更新時間：2021-10-21
激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數(shù)控設備的位置精度、幾何精度進行測量的儀器。儀器可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。
比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調(diào)整的時間。同時，儀器各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。
激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。
干涉儀的測量讀數(shù)終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是干涉儀測量精度的保障。此外，儀器的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。
總結(jié)起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：
1、激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;
2、測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;
3、反射鏡、角錐棱角誤差;
4、溫濕度、壓力傳感器誤差。
當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關。
